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表征

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  • 扫描电子显微镜（SEM）
  • 纳米探针红外光诱导共振分析系统（NanoIR）
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测量

  • 综合物性测量系统（PPMS）
  • 动态热机械分析仪（DMA）
  • 高功率电输运测量系统
  • 微纳米薄膜力电热耦合测量系统（Nanoindentation）
  • 多铁材料分析系统

制备

  • 大面积高通量脉冲激光沉积系统
  • 精密离子减薄仪
  • 微波等离子体化学气相沉积系统（MPCVD）
  • 提拉法单晶炉
  • 磁控溅射镀膜系统
  • 激光分子束外延系统
  • 化学气相沉积高温炉（CVD）

加载

  • 力学加载平台

器件

  • 无掩膜激光直写光刻系统
  • 电子束直写系统（SEM+EBL+EDS）
 

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Copyright © 2007-2023, 广东省磁电物性分析与器件重点实验室
Guangdong Provincial Key Laboratory of Magnetoelectric Physics and  Devices

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