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大行程纳米精度控制系统
本系统采用Pancharatnam相位稳定的扫描干涉仪，能够实现对麦克尔逊干涉仪两臂相位差非常精确地控制，并且相位差的时间延迟和连续扫描功能由同一个压电微位移器提供。是一种新型的基于光机电一体化技术的大行程纳米精度相对定位技术，具有广泛的应用前景。
技术指标：
1． 相对定位优于精度±4nm；
2． 相对重复定位精度±4nm;
3． 相对定位总行程优于2cm；
4． 动态相位锁定精度（扫描均匀程度）优于±4nm;
5． 人机接口：具有大屏幕中文液晶显示屏，USB接口、RS232通讯接口，电脑操纵——采用laview界面。操纵方式：键盘单独操纵、运动过程通过键盘编程操纵。